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从学术角度看，纯水又称高纯水，是指化学纯度高的水，主要用于生物学。.化学化工.冶金.宇航.电力等领域，但对水质纯度的要求相当高，所以最常用的是电子工业。例如，电力系统中使用的纯水要求杂质含量低“微克/升”等级。在纯水生产中，水质标准规定的指标应根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺确定(如一般认为造成电路性能破坏的颗粒物质尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质

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